德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-733.3DD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業產品進口貿易的公司。主要產品有工業自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

應用領域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測量技術

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩定

高運動平面度和直線度的納米定位

型號：P-733.3DD

主動軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-20至120伏時的開環行程：33微米×33微米×14微米

行程，閉環：30微米×30微米×10微米

分辨率，開環：0.1納米

分辨率，閉環：0.1納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重復精度（X、Y）：<2納米

重復精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±5微弧度

偏轉角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運動時的傾斜：<±5微弧度

剛度：4（Z向上為10）牛/微米

諧振頻率，空載：1200（Z向上為1100）赫茲

帶120克負載時的諧振頻率：–赫茲

帶200克負載時的諧振頻率：530（Z向上為635）赫茲

運動方向上的推/拉力：50/20牛