德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-541.ZCD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業產品進口貿易的公司。主要產品有工業自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

應用領域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量

產品參數：

型號：P-541.ZCD

主動軸：Z

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環行程：150微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環行程：100微米

θX、θY向上的閉環偏擺角：–毫弧度

Z向上的分辨率，開環：0.2納米

θX、θY向上的開環分辨率：–微弧度

Z向上的閉環分辨率：0.5納米

θX、θY向上的閉環分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復精度：<2納米

θX、θY向上的重復精度：–微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度