德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-528.TCD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業產品進口貿易的公司。主要產品有工業自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

應用領域：

計量

干涉測量

光子學/集成光學

平版印刷術

納米定位

掃描顯微鏡

樣本對準

微加工

型號：P-528.TCD

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環行程：240微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環偏擺角：±1.2毫弧度

Z向上的閉環行程：200微米

θX、θY向上的閉環偏擺角：±1毫弧度

Z向上的開環分辨率：0.6納米

θX、θY向上的開環分辨率：0.06微弧度

Z向上的閉環分辨率：1納米

θX、θY向上的閉環分辨率：0.1微弧度

θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復精度：±10納米

θX、θY向上的重復精度：±0.1微弧度

θZ向上的串擾（Z向運動）：<20微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：<100微弧度