產(chǎn)品特點(diǎn)
? XY軸非接觸式氣浮結(jié)構(gòu) ? Z軸平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)
l ? 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高 ? 亞微米級(jí)重復(fù)定位精度
? XY直線度±50nm ? Z直線度1μm內(nèi)
? 根據(jù)需求可定制 ? 高柔線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFL-XY-SG系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，亞微米精度用于飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
XY軸為非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，精度高和外形尺寸小等特點(diǎn)，氣浮導(dǎo)軌間沒(méi)有機(jī)械接觸，免維護(hù)運(yùn)行。Z軸為平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，提升直線度性能，可選雙閉環(huán)反饋的方式，獲得高重復(fù)定位精度和定位精度。
精度性能
XY軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.5μm。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可定制帶屏蔽高柔線纜，適合環(huán)境噪聲大的場(chǎng)合。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，直線度可達(dá)±50nm。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFL-50-50-20SG | QFL-100-100-35SG | ||||
軸系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 50 | 50 | 20 | 100 | 100 | 35 |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±1 | ±0.2 | ±1 | |||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.25 | |||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.5 | ±0.05 | ±0.5 | |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.25 | ±3 | ±0.25 | ±4 | |||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | — | ±0.1 | — | |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.35 | — | ±0.4 | — | |||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±2 | ±0.4 | ±2 | |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±5 | ±1 | ±5 | |||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 100 | 10 | 100 | 10 | ||
最大負(fù)載 | kg | 10 |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度取決于負(fù)載大小。
