1. 測量精度高:以激光干涉技術為核心,分辨率可達納米級;采用高精度環境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統,保證激光長期穩頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩定。
2. 具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。
3. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。
4. 具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等。
5. 內置各種類國標(GB)、ISO(國際)、BS(英制)、美標、DIN(德標)、JIS(日標)等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據,并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。
6. 可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動對波長進行環境補償。
7. 測量記錄采用集中式數據庫管理,可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔。
8. 安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。
二.SJ6000激光干涉儀應用
1、在數控機床檢定中的應用
SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量,為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統測量手段難以實現的技術,是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。
數控機床軸定位精度、重復定位精度的檢測
2、在三坐標檢測中的應用
SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業對加工速度的要求提升,三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形,導致的動態誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償,對提升測量精度具有重要意義。
三坐標線性精度、垂直度的檢測
3、在位移傳感器中的應用
利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢,其特點是反應速度快、測量精度高,是位移傳感器實現高精度校準的重要手段。
傳感器線性精度的測量
4、與其他鏡組配合的應用
SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結合,可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數的測量,具有極高的精度和效率。
測長機線性精度、垂直度的測量
SJ6000激光干涉儀技術參數:
技術線性測長精度:±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度:0.05ppm
分辨率:0.001um