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激光照射形成銅布線 線寬10~200μm

星之球激光 來源:日經技術在線2016-04-06 我要評論(0 )   

  日本芝浦工業大學2016年3月31日宣布,開發出了只需照射激光即可輕松形成銅布線的技術。該技術無需在特殊環境下使用特殊設備來形成銅布線,因此有望成為能夠低成本輕...

  日本芝浦工業大學2016年3月31日宣布,開發出了只需照射激光即可輕松形成銅布線的技術。該技術無需在特殊環境下使用特殊設備來形成銅布線,因此有望成為能夠低成本輕松生產顯示屏及智能手機等。
  電子產品的布線材料以前廣泛使用性能高但價格貴的金和銀,而近年來業內開始積極運用性能較高、成本較低的銅。但銅容易氧化,在通常環境(大氣)下難以操作,需要使用大型真空設備及復雜的制造工藝。
  此次通過在玻璃基板上涂布擁有熱分解性的銅絡合物溶液,并照射激光,成功促進了銅絡合物的化學反應,使銅固定下來。即使在通常的大氣環境下也可形成銅布線,而且除銅外只會釋放氣體(CO2等),無需后處理。目前確認可形成數10μ~200μm寬的布線。
  芝浦工業大學同時還在研究以塑料等有機無機混合樹脂為基板、又輕又薄、可卷起可彎折的柔性顯示器,目標是將使用此次技術的柔性顯示器投入實用。今后該大學將與企業等合作,對更微細的布線形成以及工藝的精密化展開研究。

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芝浦工業大學激光銅布線顯示屏
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