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國之重器突破!中國第一臺半導體激光隱形晶圓切割機研發成功

星之球科技 來源:快科技2020-05-18 我要評論(0 )   

我國科研領域傳來喜訊!中國長城科技集團官方宣布,旗下鄭州軌道交通信息技術研究院、河南通用智能裝備有限公司,歷時一年聯合攻關,我國第一臺半導體激光隱形晶圓切割...

我國科研領域傳來喜訊!中國長城科技集團官方宣布,旗下鄭州軌道交通信息技術研究院、河南通用智能裝備有限公司,歷時一年聯合攻關,我國第一臺半導體激光隱形晶圓切割機已于5月8日研制成功,填補國內空白,并實現了最佳光波和切割工藝,在關鍵性能參數上處于國際領先水平。


中國長城表示,這標志著,我國半導體激光隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,相關裝備依賴進口的局面即將打破,開啟了我國激光晶圓切割行業發展的序幕。

據悉,鄭州軌交院成立于2017年,幾年來一直圍繞自主安全工業控制器、高端裝備制造、新一代信息技術突破開展科研創新、技術攻關,被中國長城旗下公司收購后,更是進入新一輪加速發展期。


據介紹,晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序,而與傳統的切割方式相比,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產制造的質量、效率、效益。


我國的第一臺半導體激光隱形晶圓切割機通過采用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺,可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度,運動速度可達500mm/s,效率遠高于國外設備。

在光學方面,根據單晶硅的光譜特性,結合工業激光的應用水平,該設備采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器,最終實現了隱形切割。

在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機,配以不同功效的鏡頭,實現了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。


此外,該裝備還搭載了同軸影像系統,可以確保切割中效果的實時確認和優化,實現最佳切割效果。


高端智能裝備是國之重器,是制造業的基石,尤其是半導體領域內高端智能裝備,在國民經濟發展中更是具有舉足輕重的作用。

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半導體晶圓切割激光切割
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