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飛秒激光在脈沖模式下對玻璃進行自上而下的沖擊鉆孔。

據《激光制造網》了解，近日，法國波爾多大學強激光與應用研究所（CELIA）激光與物質相互作用研究小組開發出了一種使用“千兆赫茲脈沖”模式的飛秒激光進行玻璃微孔鉆孔的新方法。

在《International Journal of Extreme Manufacturing（國際極限制造雜志）》中有描述，該工藝使用Amplitude的飛秒激光器，在千兆赫脈沖范圍內運行，以研究一種新的玻璃微加工方法，該方法允許鉆出無錐度的細長孔，內壁光滑，無任何裂紋玻璃。

通常，使用標準單飛秒脈沖的激光鉆孔會產生長度非常有限且內表面粗糙的錐形孔。

無需化學蝕刻

這種新的激光與物質相互作用機制允許在一個步驟中直接鉆出高縱橫比的孔，而無需任何化學蝕刻。激光脈沖串參數的選擇對于實現加工結構的出色微加工質量非常重要。

飛秒激光 GHz-burst 模式可以為新應用鋪平道路，例如微電子，在這些應用中，硅中介層可能會被玻璃中介層取代。

飛秒激光以千兆赫茲脈沖而不是重復的單脈沖運行，能夠與玻璃材料相互作用，結合兩個優點：材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內，從而產生高效、可控的累積狀態，而飛秒激光脈沖出色的微加工質量得以保留。由此產生的自上而下的沖擊鉆孔可提供無錐度、細長且無裂紋且內壁光滑的孔。

CELIA簡介

CELIA 是激光及其與物質相互作用的卓越中心。對激光開發、超短強激光物質相互作用和應用進行研究，從熱致密等離子體的物理學到激光-分子或激光-原子相互作用。三個基于 Ti:sapphire 和 Yb:fiber 的最先進激光驅動器為九個設備齊全的終端站供電，包括二次 XUV 和 X 射線源。