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技術前沿

微電子裝備一部自主研發的激光打孔機通過用戶預驗收

激光制造網 來源:中國電科第二研究所2023-06-09 我要評論(0 )   

激光打孔設備作為多層共燒陶瓷器件制造的關鍵工藝設備之一,主要用于完成生瓷片通孔、定位孔和腔體的成型,是提升整線產能瓶頸的關鍵工藝設備。近日,由中國電科第二研...

激光打孔設備作為多層共燒陶瓷器件制造的關鍵工藝設備之一,主要用于完成生瓷片通孔、定位孔和腔體的成型,是提升整線產能瓶頸的關鍵工藝設備。近日,由中國電科第二研究所微電子裝備一部自主研發生產的激光打孔機通過用戶預驗收。

激光切割是打孔設備的核心工藝環節。由于遠心鏡頭景深距離大,會導致激光物距改變,影響切割質量。項目主管曹悅帶領團隊成員咨詢多家供應商,大家共同探討、團結協作,不斷從工藝、軟硬件等角度嘗試多種試驗方案。
 “裝配精度環環相扣,必須提前編制好詳細的部件及整機裝配規范,嚴格把控每一道環節。” 機械工程師郝艷鵬說道。由于設備加工幅面大、運動行程長,導致加工和裝配精度難保證。現場裝配必須全程通過高精密量具進行測量,大家不放過一絲一毫的誤差,僅用短短4天的時間高標準高質量完成了整機裝配任務。
“再實驗一次!”這是調試工程師肖勇常說的一句話,為了精準實現項目的技術指標,他和軟件工程師趙忠志一次次進行仿真實驗和軟件優化,對激光系統進行校正,仔細推敲產品試驗過程中的每一個工藝細節。
經過近一個月的攻堅,激光打孔機單振鏡樣本增大的同時,精度帶寬由±5μm縮小至±3μm,有效提升了設備打孔精度,順利通過了客戶的預驗收。
科技點亮征途、創新激發活力。下一步,微電子裝備一部激光打孔機項目團隊將持續優化設備技術指標,做精做優做強產品,不斷攻克前沿技術,為實現部門高質量發展貢獻力量。

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