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技術前沿

深圳技術大學實現千瓦級超快薄片激光器

激光制造網 來源:深圳技術大學2024-03-18 我要評論(0 )   

薄片激光器以其極佳的光束質量和高效的光-光轉換效率在工業制造業和基礎科學研究等領域得到了日益廣泛的應用。尤其是薄片超快激光技術證明是實現大脈沖能量、超短脈寬、...

薄片激光器以其極佳的光束質量和高效的光-光轉換效率在工業制造業和基礎科學研究等領域得到了日益廣泛的應用。尤其是薄片超快激光技術證明是實現大脈沖能量、超短脈寬、高平均功率的最佳方案,也被譽為激光工業”皇冠上的明珠”,對于高端制造業、極紫外光產生、阿秒科學等具有重要意義。

 

 

 

 

長期以來,德國通快公司獨家引領薄片激光器的研究及產品化,取得了巨大的商業成功。近4年來,深圳技術大學阮雙琛教授牽頭的國家重點研發計劃“新型顯示與戰略性電子材料”重點專項支持下,項目團隊聯合聯合中國工程物理研究院上海激光等離子體研究所、江蘇師范大學、大族激光、中國科學院半導體研究所、江蘇第三代半導體研究院等單位進行技術攻關,攻克了薄片晶體精密加工、晶體熱沉系統設計和封裝、48沖程泵浦系統、高穩定再生放大諧振腔和多通道放大等關鍵核心技術,在國內率先實現了直徑>20mm Yb:YAG薄片晶體封裝,研制了千瓦級48沖程泵浦系統,課題組在2024年2月,實現了國內千瓦級超快薄片激光器的重大突破:脈沖輸出最大平均功率1.075kW,脈沖寬度7ps,重復頻率500-800kHz可調,最大脈沖能量2.1mJ,光束質量M2<1.5,光斑橢圓度0.96, 為我國阿秒光源、極紫外光刻、新能源汽車、3C電子與芯片加工、航空航天等高端制造業,提供先進激光光源。


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