激光制造網(wǎng) 來源：科技日報2024-05-09
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近日，清華大學(xué)精密儀器系孫洪波教授和吉林大學(xué)陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術(shù)，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，...
近日，清華大學(xué)精密儀器系孫洪波教授和吉林大學(xué)陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術(shù)，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，深寬比超15000的納米深加工，將目前該領(lǐng)域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關(guān)成果5月8日在線發(fā)表于國際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》。
近日，清華大學(xué)精密儀器系孫洪波教授和吉林大學(xué)陳岐岱教授聯(lián)合團隊，開發(fā)出一種超隱形切割技術(shù)，在包括玻璃、激光晶體、鐵電體等多種透明材料中實現(xiàn)了橫向精度10納米，深寬比超15000的納米深加工，將目前該領(lǐng)域國際上文獻可查的加工精度提升了10至100倍。相關(guān)成果5月8日在線發(fā)表于國際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》。
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