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◇“光電子先導(dǎo)院為很多企業(yè)在發(fā)展初期‘點(diǎn)亮’了前行之光，成為它們‘追光逐夢(mèng)’的得力伙伴。”

◇深度融入陜西光子產(chǎn)業(yè)體系中的光電子先導(dǎo)院加快了科技成果的熟化速度、提高了初創(chuàng)企業(yè)的生存率、吸引了上下游企業(yè)向西安聚集，成為產(chǎn)業(yè)鏈“補(bǔ)強(qiáng)”“做大”的關(guān)鍵力量

◇光電子先導(dǎo)院不僅擁有覆蓋“材料-器件-系統(tǒng)”全鏈條的研發(fā)能力，更構(gòu)建了緊密連接高校、科研院所與產(chǎn)業(yè)資源的創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，不僅能接觸到最前沿的科研成果，更能與不同領(lǐng)域的頂尖專家即時(shí)交流碰撞，快速組建起跨學(xué)科的聯(lián)合攻關(guān)團(tuán)隊(duì)

文?|《瞭望》新聞周刊記者?鄭昕

技術(shù)人員在陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司測(cè)試晶圓（2024 年 3 月 4 日攝）張博文攝 / 本刊

秦嶺腳下，一座二層廠房的潔凈車間里，身著白色無塵服裝的科研人員伴著激光儀器發(fā)出的細(xì)微聲響，正細(xì)心地觀測(cè)著數(shù)據(jù)變化，不時(shí)交談幾句。這里并不是某所高校或某家企業(yè)的研發(fā)基地，而是成立十年來已經(jīng)為100多家企業(yè)、高校和科研院所提供中試服務(wù)，助推多個(gè)國(guó)內(nèi)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)從試水者成為領(lǐng)軍者的共性技術(shù)平臺(tái)——陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“光電子先導(dǎo)院”）。

今年5月，工業(yè)和信息化部公布了首批重點(diǎn)培育中試平臺(tái)初步名單，位于西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)的光電子先導(dǎo)院是其中唯一一個(gè)涉及先進(jìn)光子集成產(chǎn)業(yè)的中試平臺(tái)，也是少數(shù)幾家具有公共性、開放性和專業(yè)性的市場(chǎng)化中試平臺(tái)之一。

從2015年打造陜西光電芯片公共服務(wù)平臺(tái)以來，這里為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供了產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等全流程技術(shù)服務(wù)，助力初創(chuàng)企業(yè)降低研發(fā)成本，促進(jìn)科技成果更快轉(zhuǎn)化落地，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群蓬勃發(fā)展。

以光為導(dǎo)、聚光成炬，光電子先導(dǎo)院是陜西光子產(chǎn)業(yè)規(guī)模與效能不斷“躍遷”形成競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的推動(dòng)者，是發(fā)揮產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”聚集效應(yīng)以及中試平臺(tái)放大效應(yīng)的踐行者，是向新而行、加快科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的探索者，其實(shí)踐點(diǎn)亮了率先突破的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新之路。

點(diǎn)亮

光子產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性新興產(chǎn)業(yè)，是我國(guó)有條件率先實(shí)現(xiàn)突破的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。得益于中國(guó)科學(xué)院西安光機(jī)所、西安交通大學(xué)、西安電子科技大學(xué)等一大批科研院所、高等院校的技術(shù)積累與人才培養(yǎng)，陜西擁有十余家國(guó)家級(jí)、省市級(jí)光子領(lǐng)域重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和十余個(gè)光子工程技術(shù)中心，儲(chǔ)備著雄厚的創(chuàng)新實(shí)力與發(fā)展?jié)撃堋?/p>

2021年，陜西省將光子產(chǎn)業(yè)確定為重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈，提出打造全球光子技術(shù)原始創(chuàng)新高地、國(guó)家光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展主陣地和全球最具影響力的光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新高地。同步啟動(dòng)實(shí)施“追光計(jì)劃”，聚焦光子材料與芯片、先進(jìn)激光與光子制造、光子傳感三大領(lǐng)域。這是一場(chǎng)在無人區(qū)與全球企業(yè)的競(jìng)技。

大量科研團(tuán)隊(duì)和初創(chuàng)企業(yè)資金不足、人員較少、技術(shù)尚不成熟，有快速迭代技術(shù)與產(chǎn)品的迫切需求。急需具備公共性、市場(chǎng)化的中試平臺(tái)，助力創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)從基礎(chǔ)科研向應(yīng)用場(chǎng)景的“關(guān)鍵一躍”。

陜西光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體秘書長(zhǎng)譚家海說：“中試對(duì)于光子這樣一個(gè)高投入、高精度、高穩(wěn)定性的產(chǎn)業(yè)尤為重要。”

“追光計(jì)劃”以“一機(jī)制、一平臺(tái)、一中心、一聚集區(qū)、一大會(huì)、一基金”的“六個(gè)一”模式布局光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展，作為“一平臺(tái)”的先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)由光電子先導(dǎo)院承接。

2015年，光電子先導(dǎo)院成立，以“孵化平臺(tái)+產(chǎn)業(yè)基金”為發(fā)展方向。“在與一些企業(yè)的交流合作中，我發(fā)現(xiàn)他們?cè)趯I(yè)測(cè)試驗(yàn)證方面有強(qiáng)烈需求。”陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司總經(jīng)理?xiàng)钴娂t說，環(huán)境條件建不起、產(chǎn)品無法驗(yàn)證、產(chǎn)能無話語權(quán)、市場(chǎng)響應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)高，這是當(dāng)時(shí)光子產(chǎn)業(yè)科技型企業(yè)在發(fā)展中面臨的普遍難題，也是全行業(yè)痛點(diǎn)。

多位受訪者說，光子是個(gè)“快魚吃慢魚”的產(chǎn)業(yè)，企業(yè)在發(fā)展初期只需幾片、十幾片芯片作驗(yàn)證，自己購(gòu)置設(shè)備不劃算，“大廠”看不上這個(gè)訂單量，高校、科研院所的公共平臺(tái)開放度有限，一些企業(yè)“抱著核心技術(shù)坐等被淘汰”。

“我們租用光電子先導(dǎo)院的產(chǎn)線進(jìn)行流片，一個(gè)星期就能拿到數(shù)據(jù)，如果交給代工廠可能需要三到六周。產(chǎn)品迭代速度提高了好幾倍。”西安唐晶量子科技有限公司董事長(zhǎng)龔平說，公司從事大尺寸砷化鎵外延片生產(chǎn)和研發(fā)，企業(yè)自建立之初就與光電子先導(dǎo)院合作，其中一款車載雷達(dá)芯片僅用兩年多就實(shí)現(xiàn)了從概念到量產(chǎn)，在光電芯片領(lǐng)域填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

光電子先導(dǎo)院按照市場(chǎng)化運(yùn)作，給相關(guān)科創(chuàng)企業(yè)提供潔凈室租賃、廠務(wù)供給、單步工藝代工、設(shè)備共享等可“拎包入住”的光電子芯片研發(fā)技術(shù)服務(wù)支撐，利用產(chǎn)業(yè)基金扶持初創(chuàng)企業(yè)。“光電子先導(dǎo)院為很多企業(yè)在發(fā)展初期‘點(diǎn)亮’了前行之光，成為它們‘追光逐夢(mèng)’的得力伙伴。”譚家海說。

2023年3月，陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)正式啟用，相比之前，設(shè)施和技術(shù)都有提升，能夠在光子器件制造的光刻、刻蝕、薄膜制備等關(guān)鍵工藝流程上為光電芯片項(xiàng)目提供全流程的工程化中試服務(wù)，目前已經(jīng)完成多款VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）產(chǎn)品PDK（工藝設(shè)計(jì)套件）發(fā)布，正在與多家頭部企業(yè)合作并進(jìn)行產(chǎn)品導(dǎo)入。

2024年，光電子先導(dǎo)院全面升級(jí)平臺(tái)。一方面，在已有化合物平臺(tái)基礎(chǔ)上，開發(fā)車規(guī)級(jí)芯片工藝平臺(tái)；另一方面，建設(shè)“8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)”，開發(fā)130nm硅光工藝技術(shù)，該平臺(tái)目前已基本完成硬件建設(shè)，預(yù)計(jì)2025年底正式通線。該平臺(tái)將建成陜西乃至西北地區(qū)首個(gè)硅光中試線，為國(guó)內(nèi)光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體提供硅基器件與集成的研發(fā)、中試技術(shù)服務(wù)。

導(dǎo)航

與陜西光電子先導(dǎo)院比鄰而立，建筑面積2萬多平方米的唐晶量子化合物半導(dǎo)體外延片研發(fā)和生產(chǎn)項(xiàng)目已投產(chǎn)數(shù)月。由于廠房的生活配套建設(shè)還未完成，龔平與研發(fā)團(tuán)隊(duì)時(shí)常去光電子先導(dǎo)院的食堂用餐。兩邊的工程師、企業(yè)家碰面，在餐桌上經(jīng)常分析探討技術(shù)細(xì)節(jié)，為對(duì)方介紹新的客戶。

“唐晶量子從一開始就租用我們的廠房和設(shè)備，相當(dāng)于帶著技術(shù)‘拎包入駐’。現(xiàn)在我們處于產(chǎn)業(yè)鏈上下游，雙方互為客戶，并且相互介紹客戶，達(dá)成了共生關(guān)系，補(bǔ)強(qiáng)了產(chǎn)業(yè)鏈。”楊軍紅說。

和光電子先導(dǎo)院實(shí)現(xiàn)共生共贏的遠(yuǎn)不止唐晶量子一家。總部位于深圳的深圳瑞識(shí)智能科技有限公司是一家深耕半導(dǎo)體光學(xué)領(lǐng)域的高科技公司，致力于為智能汽車、消費(fèi)電子、醫(yī)療美容和工業(yè)制造等領(lǐng)域客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的VCSEL光學(xué)解決方案，已有多款產(chǎn)品應(yīng)用在國(guó)內(nèi)外暢銷的手機(jī)、掃地機(jī)器人和新能源汽車上，總銷量近兩億顆、產(chǎn)值數(shù)億元。公司董事長(zhǎng)汪洋說，自己從海外歸國(guó)創(chuàng)業(yè)時(shí)，和海外及我國(guó)臺(tái)灣的廠家都有過接洽，但對(duì)方明確表示“解決不了我們研發(fā)階段所需的高度定制化工藝開發(fā)”。

光電子先導(dǎo)院不僅擁有覆蓋“材料-器件-系統(tǒng)”全鏈條的研發(fā)能力，更構(gòu)建了緊密連接高校、科研院所與產(chǎn)業(yè)資源的創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，不僅能接觸到最前沿的科研成果，更能與不同領(lǐng)域的頂尖專家即時(shí)交流碰撞，快速組建起跨學(xué)科的聯(lián)合攻關(guān)團(tuán)隊(duì)。

“這種平臺(tái)賦能、知識(shí)流動(dòng)、資源互補(bǔ)的生態(tài)體系，有效解決了單一企業(yè)或傳統(tǒng)代工廠難以克服的研發(fā)瓶頸，也為我們與光電子先導(dǎo)院之間構(gòu)建起基于共同成長(zhǎng)、相互成就的堅(jiān)實(shí)共生紐帶。”汪洋說，“排隊(duì)等待中試的時(shí)間少了、交流的效率高了，速度比在國(guó)外做中試快5倍以上。”

讓龔平、汪洋等與光電子先導(dǎo)院深度合作的，不只是因?yàn)槠脚_(tái)加快了產(chǎn)品迭代速度，更是因?yàn)橛兄趲椭髽I(yè)做優(yōu)工藝。受訪者表示，基于商業(yè)安全，每一家企業(yè)中試都由光電子先導(dǎo)院專業(yè)人員操作，每個(gè)階段給出數(shù)據(jù)，再由雙方共同探討優(yōu)化的途徑與方略。

“通過合作，開發(fā)出適合于個(gè)性化產(chǎn)品的專業(yè)工藝標(biāo)準(zhǔn)步驟，讓我們?cè)谝恍┬酒Y(jié)構(gòu)上具有領(lǐng)先于市場(chǎng)的優(yōu)勢(shì)。”汪洋說。

通過共享設(shè)備、技術(shù)授權(quán)、聯(lián)合定制研發(fā)等合作方式，“在為客戶創(chuàng)造價(jià)值的同時(shí)，我們也實(shí)現(xiàn)了自身價(jià)值的提升。”陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司副總經(jīng)理張曉雷說，平臺(tái)接觸的客戶多、新技術(shù)多、新工藝多，有助于更好地開發(fā)出設(shè)備能力，在平臺(tái)上做新產(chǎn)品的導(dǎo)入，形成良好的展示效果。

目前，光電子先導(dǎo)院已擁有超170名專業(yè)人員的完整工藝技術(shù)團(tuán)隊(duì)、200余臺(tái)（套）先進(jìn)光電芯片關(guān)鍵設(shè)備和8000平方米的從百級(jí)到十萬級(jí)的潔凈廠房，不僅能夠提供6英寸化合物光電芯片的研發(fā)、中試服務(wù)，還建成了能夠支撐人工智能、大數(shù)據(jù)、光通信、生物醫(yī)療等新興產(chǎn)業(yè)的8英寸“先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)”。該平臺(tái)在今年上半年基本完成了工藝調(diào)試和試運(yùn)行，正隨著已到位的設(shè)備開展部分環(huán)節(jié)步驟工藝的中試服務(wù)。同時(shí)，光子異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)也已在籌劃，將引領(lǐng)光子產(chǎn)業(yè)下一階段發(fā)展。

“這些都是來自產(chǎn)業(yè)界非常實(shí)在的需求，是十分重大的機(jī)遇。”西安中科光機(jī)投資控股有限公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理，陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司董事長(zhǎng)曹慧濤說，推動(dòng)技術(shù)發(fā)展是其作為陜西省光子產(chǎn)業(yè)“鏈主”單位的職責(zé)。“通過服務(wù)實(shí)現(xiàn)與上下游的‘供應(yīng)鏈信任’，對(duì)產(chǎn)業(yè)的支撐保障作用顯著增強(qiáng)。”他說，這有效降低客戶研發(fā)成本，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品高速迭代，提升我國(guó)在全球光子芯片領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力，積極搶占光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展制高點(diǎn)。

（《瞭望》2025年第28期）