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- 2025-06-10 16:11ASML稱中國早已研發國產光刻機：中科院成功研發DUV光源技術 能生產3nm
- 2024-10-09 15:27科普：EUV 光刻機的 13.5nm 光源是如何實現的？
- 2023-07-03 13:34投資50億日元，這家廠商生產DUV光刻機核心設備光源
- 2021-10-09 09:25揭秘EUV光刻機中的激光技術
- 2020-09-22 10:262020年德國未來獎頒給通快、蔡司和弗勞恩霍夫的EUV光刻開發人員
- 2020-09-07 10:13通快在臺灣設立激光應用中心
- 2020-08-05 09:22上海光機所在UV-NIR超快激光誘導磷硼酸鹽玻璃合成CsPbBr3量子點研究中取得進展
- 2020-07-08 21:20中科院研發新型激光光刻技術：不用EUV 直擊5nm
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