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激光芯片

IMEC在工業級晶圓代工平臺上實現磷化銦激光器與硅光子芯片的晶圓級集成

來源:電子發燒友2022-06-15 我要評論(0 )   

據麥姆斯咨詢報道,比利時微電子研究中心(IMEC)、英國Sivers Photonics(前身是CST Global)和德國設備廠商ASM AMICRA共同合作,利用倒裝芯片鍵合設備實現高精度對準...

據麥姆斯咨詢報道,比利時微電子研究中心(IMEC)、英國Sivers Photonics(前身是CST Global)和德國設備廠商ASM AMICRA共同合作,利用倒裝芯片鍵合設備實現高精度對準,已經成功在工業級晶圓代工平臺上實現磷化銦(InP)激光器與硅光子芯片的晶圓級集成。

IMEC介紹說,該團隊已經實現了以高于500 nm的對準精度將InP分布式反饋(DFB)激光二極管與8英寸硅光子晶圓的鍵合。從而實現了將超過10 mW的激光功率重復耦合到硅光子晶圓的氮化硅(SiN)波導中,而通常情況下這會因高損耗而變得難以實現。

IMEC表示,計劃于今年下半年開放新平臺,為產品原型提供服務,旨在加速硅光子在光學互連、激光雷達和生物醫學傳感等成本敏感型應用的推廣。其實,2020年3月,IMEC就與CST Global完成了初步工作,原計劃于今年上半年開始提供這項服務。

有了上述服務的支持,混合集成產品組合將利用Sivers Photonics“InP100”技術的蝕刻端面功能和ASM AMICRA“NANO”倒裝芯片鍵合設備,通過反射式半導體光學放大器(RSOA)進行擴展。

IMEC評論道:“這項服務將按照新興光學互連和傳感應用的要求,實現先進的外腔激光源,并計劃于2022年初投入使用?!?/p>

IMEC光學輸入輸出(I/O)項目主任Joris van Campenhout表示:“這一附加功能將賦予我們的合作伙伴開發和制造先進光子集成電路(PIC)原型的能力,并將遠遠超出我們目前在數據通信、電信和傳感等關鍵領域所能提供的服務能力?!?/p>

Sivers Photonics總經理Billy McLaughlin補充道:“InP激光源是基于我們的InP100制造平臺而設計和制造的,這款產品將推動硅光子電路被各種商業應用所采用?!?/p>

ASM AMICRA總經理Johann Weinh?ndler表示:“我們高精度對準的優勢與所有合作伙伴的專業技能相得益彰。有自動化高精度倒裝芯片鍵合的助力,通往混合元件組裝的批量制造之路將是開放的?!?/p>


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