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相干公司的準分子EnergyMax能量探頭是特別為波長在193nm的ArF激光器和波長為248nm

的KrF激光器設計的。準分子EnergyMax系列精度高，有效探測面積大（最大口徑可達50mm），

并且采用新型涂層，從而大大提高了長期抗損傷能力。

準分子激光EnergyMax探頭的主要特點

• 獨特的MaxUV涂層，提高抗損傷閾值和長期抗紫外照射能力，提高響應工作頻率
• 光譜測量范圍190nm~2.1μm
• 能量測量范圍 50μJ~250mJ
• 最高響應頻率: 400Hz
• 自動波長補償功能
• 自動溫度補償功能

產品的詳細資料

準分子EnergyMax系列有4個不同型號，其中2個型號的最佳工作波長為193nm，

另外2個型號的最佳工作波長為248nm（盡管這4種型號都能在紫外，可見和近紅外精確測量）。

這些探頭都采用相干公司獨特的MaxUV涂層，大大提高了深紫外區的抗損傷閾值和抗紫外長期照射能力，

同時也將最高響應頻率提高到400Hz。

準分子EnergyMax系列可自動對環境溫度和波長進行補償，以獲得更精確的數據讀取。

這系列探頭與相干公司的LabMax-TOP, 3sigma, FieldMaxII-TOP, FieldMaxII-P, EPM1000和EPM2000

等能量表頭兼容。

這兩類探頭匹配可選的散熱片后可以承受更高的能量/平均功率。這些散熱片可分別將J-50MB-YAG

和J-25MB-IR可承受平均功率提高到48W和62W水平。
所有準分子激光探頭匹配可選的散熱片后都可以承受更高的能量/平均功率。這些散熱片可分別將

J-25MUV-193 & -248和J-50MUV-193 & -248可承受平均功率提高到36W和43W水平。（兩者均在波長193nm情況下）。

下表列出了具有可拆卸散熱片的能量探頭能夠承受的最高平均功率。

所有的EnergyMax探頭均配以3英寸高的標準底座。我們也有2英寸的底座（產品號1135565）。可選，如果您需要匹配2英寸的底座，

請與相干公司的銷售代表特別說明。