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 雙方計劃攜手開發在大尺寸基材上沉積有機層材料的高效技術

全球半導體行業領先沉積設備供應商AIXTRON 愛思強股份有限公司與總部位于德國羅伊特林根城的專業設備制造商Manz 集團正式達成戰略合作。雙方將攜手研發高效能的有機二極管(OLED)生產解決方案，共同把握OLED 技術的未來市場機遇。

根據此項戰略合作，雙方將合作研發一套利用AIXTRON 愛思強OVPD®專利工藝技術，實現在第8 代基板（尺寸為2,300x2,500 mm²）上高效沉積有機層材料的示范系統。該套全新的示 范系統將首次向業界展示OVPD®技術在以合理價格大規模、高效率生產可用于顯示屏和照明應用的有機發光二極管方面的優勢。

Manz 將帶來其在提純和處理大尺寸玻璃基板，以及研發和制造大型真空系統領域的豐富經驗。 高效能的有機層材料沉積工藝被認為是實現以經濟可行的方式生產大尺寸OLED 設備的關鍵， 在此次合作中，AIXTRON 愛思強將進一步發展其OVPD®工藝技術。通過合作，有望實現以卓 越的材料使用率和沉積效率生產高度均勻的易伸縮薄膜。

新系統將于未來幾個月內在AIXTRON 愛思強的潔凈室進行裝配。除了展示OVPD專有工藝 和規模化生產大尺寸基板的能力，此次合作也將著力滿足市場對新元器件的要求。降低生產成 本和提高產量是成功擴大OLED 技術市場滲透率的必備條件。而這要求必需推出更高效的生產 工藝和使用大尺寸的基材。