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 　 2月27日，上海光機所信息光學與光電技術實驗室組織專家對德國耶拿Friedrich-Schiller大學教授Frank Wyrowski承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目進行了同行評議。與會專家聽取了Frank Wyrowski教授對合作項目的進展報告，經過討論，一致認為：Frank Wyrowski教授在上海光機所的兩個月期間，結合基于場追跡的光學仿真軟件VirtualLab，對光刻機照明系統關鍵元件的設計與系統仿真工作起到了重要的推動作用。評議專家組認為該項目組已完成了預期研究內容，達到了預期研究目標. 

　　在Frank Wyrowski教授的指導下，項目組確定了照明系統的仿真目標和基本模型，提出了介于光線追跡和場追跡之間的混合仿真方法；研究了提高衍射光學元件效率的設計方法，通過降低信噪比使效率提高約3%。面向相關技術人員，Frank Wyrowski教授舉辦了以“場追跡技術和應用”為主題的4次系列學術報告。該項目促進了雙方的學術交流，為雙方深化合作研究奠定了堅實的基礎。