精品1_亚洲第一综合_午夜精品久久久久久毛片_精品国产一区二区三区成人影院_中文字幕免费播放_亚洲精品一区二区三区在线看

閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
電子加工新聞

中科院光電技術研究所順利完成新一代單場超大面積光刻機

星之球科技 來源:中科院2015-10-08 我要評論(0 )   

近期,中國科學院光電技術研究所順利完成新一代單場超大面積光刻機(650mmX650mm)研制,并通過用戶驗收,各項技術指標達到國際先進水平。

 
 
近期,中國科學院光電技術研究所順利完成新一代單場超大面積光刻機(650mmX650mm)研制,并通過用戶驗收,各項技術指標達到國際先進水平。新一代超大面積光刻機采用2500W大功率高壓汞燈作為光源,利用離軸非球面反射鏡結合蠅眼透鏡勻光技術,在實現高光功率密度的同時,保證照明均勻性。同時,為解決大尺寸樣片調平及對準等關鍵技術問題,創新性地采用了低阻力氣浮調平技術以及可變倍率光學系統等先進技術。經測試,設備在650mm×650mm照明面積內,光功率密度大于15mW/cm2,照明不均勻性≤5%,能夠一次性進行650mm×650mm的大面積樣片加工,加工分辨力達到2μm,對準精度±1μm。
 
該設備具有大曝光面積、高套刻對準精度、高可靠性、操作方便、自動化程度高等特點,不僅能夠在平板顯示產業進行彩膜(CF)、隔柱(Spacer)以及薄膜晶體管(TFT)等核心部件加工,還能夠應用于微電子、微機電、微光學領域進行各種芯片、傳感器、大尺寸光柵、碼盤等微納元件加工及芯片封裝。同時該設備還能夠在宏觀加工領域,完成傳統機械加工方式難以實現的薄壁零件等高難度加工,應用領域廣泛。
 
近日,首家用戶中科院西安光學精密機械研究所在光電所舉行了設備驗收會。西安光機所有關專家聽取報告,并對超大面積光刻機設備進行了現場測試與實驗,驗證了各項性能指標均滿足設計要求,對光電所研制水平表示了肯定和贊賞。新一代單場超大面積光刻設備,無論是曝光面積、照明不均勻性、光功率密度還是對準精度等核心技術指標都處于國際先進水平。其成功研制對提升我國微細加工設備整體研制水平,促進我國單場超大面積極端微細加工技術發展具有重要的現實意義。

轉載請注明出處。

光刻機激光技術光電技術研究所
免責聲明

① 凡本網未注明其他出處的作品,版權均屬于激光制造網,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。獲本網授權使用作品的,應在授權范圍內使 用,并注明"來源:激光制造網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關責任。
② 凡本網注明其他來源的作品及圖片,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯系我們刪除。
③ 任何單位或個人認為本網內容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網提出書面權利通知,并提供身份證明、權屬證明、具體鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關涉嫌侵權的內容。

網友點評
0相關評論
精彩導讀
主站蜘蛛池模板: 国产精品av在线 | 九九热精品视频在线播放 | 精品二区| 国产中文字幕一区二区三区 | 日本大黄视频 | 99在线免费观看 | 国产美女一区二区三区 | 日韩黄色在线观看 | 国产亚洲精品久久久 | 日韩免费电影在线观看 | 一区二区三区欧美在线 | 波多野结衣一区二区三区 | 青草一区 | 日韩欧美视频一区 | 精品国产精品一区二区夜夜嗨 | 国产精品第一国产精品 | 97成人超碰 | 久久一本到 | 国产在线视频网 | av资源网在线观看 | 国产精品视频免费在线观看 | 在线国产区 | 亚洲精品免费观看 | 九九在线精品视频 | 欧美a√ | 欧美日本高清 | 久久久精品区 | 亚洲 欧美 视频 | 日本一区二区三区在线观看 | 亚洲国产精品自拍 | aaaaaaa毛片| 激情综合五月天 | 成人h视频 | 国产一区二区黄 | 成人免费视频一区二区 | 99久久这里只有精品 | 欧美大片一区二区三区 | 久久久国产一区二区三区 | 最近中文字幕mv在线资源 | 国产伦精品一区二区三区视频黑人 | 亚洲一区欧美 |