星之球科技 來(lái)源：新華社2020-04-27
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疫情之下，上海集成電路企業(yè)韌性十足，加速?gòu)?fù)工復(fù)產(chǎn)。近日，位于上海自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)的積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線一期建成投片。臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線總...
疫情之下，上海集成電路企業(yè)韌性十足，加速?gòu)?fù)工復(fù)產(chǎn)。
近日，位于上海自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)的積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線一期建成投片。
臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線總投資359億元，占地面積23萬(wàn)平方米。
在特色工藝生產(chǎn)線的無(wú)塵生產(chǎn)車間，半導(dǎo)體芯片的整個(gè)制作流程被展示在墻上，原始晶圓要經(jīng)過(guò)光刻、離子注入、刻蝕等步驟，方能成為成品。
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