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打孔

激光打孔 vs 激光誘導刻蝕,誰才是TGV玻璃加工的王者?

激光制造網 來源:睞芯科技LightSense2025-05-22 我要評論(0 )   

除了激光,玻璃打孔的方式還有哪些?制備方法有噴砂、機械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式,見下表:方法原理說明1. 噴砂高速噴射磨料顆粒撞擊玻璃表面,反復...

除了激光,玻璃打孔的方式還有哪些?

制備方法有噴砂、機械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式,見下表:

方法
原理說明
1. 噴砂
高速噴射磨料顆粒撞擊玻璃表面,反復沖刷鑿出通孔
2. 機械鉆孔
使用微型硬質鉆頭(如金剛石)機械旋轉鉆入玻璃
3. 干法刻蝕
采用等離子體或離子束對玻璃進行各向異性刻蝕
4. 濕法腐蝕
使用HF化學蝕刻玻璃內部結構
5. 聚焦放電
高壓放電產生局部高溫,擊穿玻璃形成孔洞

使用激光打孔的好處?

1,激光可實現高精度定位,孔位誤差??;無需掩膜或鉆頭;能加工微米級孔徑(<10 μm),也可根據功率調整孔深/孔徑比。
2,通過參數調節、聚焦控制可實現高密度陣列孔,
3,可實現批量自動打孔,加工速度快;適合大尺寸面板化封裝工藝
激光燒蝕與激光誘導刻蝕的區別?

項目
激光燒蝕激光誘導刻蝕
 原理
高能激光直接將材料氣化/熔化燒蝕
飛秒激光在玻璃內部誘導結構變化,再通過化學腐蝕清除受損區域
 步驟流程
單步完成:激光直寫打孔
兩步:①飛秒激光寫入軌跡 → ②濕法腐蝕移除變性玻璃
能量特性
通常使用CO?激光、UV激光,熱效應明顯
飛秒激光,極短脈沖,無熱影響區
玻璃損傷
易產生熱裂紋、邊緣崩裂
幾乎無熱裂紋,孔壁光滑、結構完整
 孔的精度與形狀控制
孔形受限,孔口易塌邊、不垂直
可實現高深寬比、高密度、垂直孔、異形孔陣列



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