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技術前沿

攻關“卡脖子”技術!這一激光項目獲立項

激光制造網(wǎng) 來源:浙江省科學技術廳2023-12-29 我要評論(0 )   

近日,浙江省科學技術廳公示了2024年度“尖兵”“領雁”研發(fā)攻關計劃擬立項項目清單。由杭州光學精密機械研究所(以下簡稱“杭州光機所”)孵化企業(yè)——杭州銀湖激光科...

近日,浙江省科學技術廳公示了2024年度“尖兵”“領雁”研發(fā)攻關計劃擬立項項目清單。由杭州光學精密機械研究所(以下簡稱“杭州光機所”)孵化企業(yè)——杭州銀湖激光科技有限公司主導研發(fā)的項目“晶圓級封裝TGV玻璃通孔高速激光制造技術與裝備-芯片3D封裝TGV玻璃通孔高速激光制造技術與裝備”成功入選!


本次入選的項目,面向半導體領域晶圓級封裝制程,以玻璃中介層和玻璃通孔(Through Glass Via,TGV)為研究對象,攻克實現(xiàn)高速、大幅面微孔的快速成形制造一大難題。TGV技術是目前實現(xiàn)半導體堆疊式封裝、系統(tǒng)級封裝(SiP)的主選方案,可實現(xiàn)高頻芯片、先進微機電系統(tǒng)、傳感器等的低損耗傳輸,廣泛應用于高密度微電子系統(tǒng)中的電導通基底器件的制造。


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